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오류신고를 진행 하실 데이터 정보를 담은 표입니다. 제목(Main) Titanium isopropoxide [TTiP] 소재의 원자층 박막증착율 제목(Sub) 저자 윤주영;맹선정;김하영;임재욱; 제공처 한국표준과학연구원 리포지터리 한국표준과학연구원
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2023
국내
공개
CC BY-NC-SA
Korean
Titanium isopropoxide [TTiP] 소재의 원자층 박막증착율
윤주영;맹선정;김하영;임재욱;
참조표준 설명 : 화학증착소재의 물성이 ALD 공정 기준에 적합하더라도 박막 증착 후에 박막의 물성(특성, 균일도 등)과 박막증착율(두께)이 적합하지 않을 수 있음. 박막 증착 공정 조건을 정하는데에는 ALD window에서 박막 증착율이 일정 수준을 유지하는 온도에 대한 데이터를 필요로 하고 있음.<br/>해당 연구 결과들은 문헌에 보고되고 있지만 문헌마다 보고된 결과가 상이하여 적합한 증착 온도와 박막 증착율을 확인하기가 어려움.<br/>화학증착소재의 원자층 박막 증착율 참조표준을 확보하여 참조표준을 제공함으로써 소재의 신규 개발 속도 향상, 증착장비의 기초 성능 평가시간 및 차세대 공정·장비 개발을 촉진할 수 있을 것으로 예상됨.<br/>해당 참조표준은 TTiP를 이용하여 Titanium oxide 박막을 원자층 증착하였을때의 박막 증착율을 보고함.<br/><br> 참조표준 제/개정 사유 : Titanium isopropoxide [TTiP] 소재의 원자층 박막증착율 참조표준 최초 제정
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