오류신고
해당 데이터에 오류가 발견되면 오류신고해주세요.
오류신고
- 데이터 정보
-
오류신고를 진행 하실 데이터 정보를 담은 표입니다. 제목(Main) Zirconium chloride [ZrCl4] 소재의 원자층 박막증착율 제목(Sub) 저자 윤주영;맹선정;김하영;임재욱; 제공처 한국표준과학연구원 리포지터리 한국표준과학연구원
- 접수 정보
-
접수하기오류신고 접수 정보를 담은 표이며, 메일주소, 오류내용을 입력합니다. 아이디 오류신고 접수 정보를 담은 표이며, 메일주소, 오류내용을 입력합니다.오류 구분 - 개인정보 노출방지를 위해 개인정보 내용은 가급적 자제하여 주시기 바랍니다.
- 일방적인 욕설 및 부정적인 내용 작성시 원작자의 판단에 따라 신고자에게 피해가 발생할 수 있습니다. 깨끗하고 청렴한 서비스 문화를 위해 필요한 정보만 기재해주시면 감사하겠습니다.
-
2023
국내
공개
CC BY-NC-SA
Korean
Zirconium chloride [ZrCl4] 소재의 원자층 박막증착율
윤주영;맹선정;김하영;임재욱;
참조표준 설명 : 화학증착소재의 물성이 ALD 공정 기준에 적합하더라도 박막 증착 후에 박막의 물성(특성, 균일도 등)과 박막증착율(두께)이 적합하지 않을 수 있음. 박막 증착 공정 조건을 정하는데에는 ALD window에서 박막 증착율이 일정 수준을 유지하는 온도에 대한 데이터를 필요로 하고 있음.<br/>해당 연구 결과들은 문헌에 보고되고 있지만 문헌마다 보고된 결과가 상이하여 적합한 증착 온도와 박막 증착율을 확인하기가 어려움.<br/>화학증착소재의 원자층 박막 증착율 참조표준을 확보하여 참조표준을 제공함으로써 소재의 신규 개발 속도 향상, 증착장비의 기초 성능 평가시간 및 차세대 공정·장비 개발을 촉진할 수 있을 것으로 예상됨.<br/>해당 참조표준은 ZrCl4를 이용하여 Zirconium oxide 박막을 원자층 증착하였을때의 박막 증착율을 보고함.<br/><br> 참조표준 제/개정 사유 : Zirconium chloride [ZrCl4] 소재의 원자층 박막증착율 참조표준 최초 제정
- #반도체
- # 디스플레이
- # 이차전지
- # 화학증착소재
- # 전구체
- # 증착 공정
- # 박막 성장률
- # 디스플레이
데이터 생성 이력정보
특성 정보
특성정보는 제공처로부터 수집된 데이터이며, DataON에서 제공하는 이외의 정보를 담고 있습니다.
관련 과제/논문 정보
관련 과제/논문 정보는 데이터 등록자 또는 이용자가 추천한 정보가 제공됩니다.
- 유발연구데이터가 유발된 과제/논문 정보입니다.
- 관련연구데이터 생산에 참고된 관련 과제/논문 정보입니다.
- 52 조회수
- 1 다운로드수
- 추천수 0
- 공유수 0
- 인용횟수 0
- 제공처
-
- 리포지터리
-
한국표준과학연구원
- 라이센스
- CC BY-NC-SA
- 공유하기