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제목(Main) ICP 13.56 MHz 아르곤 플라즈마 분광 물성
제목(Sub)
저자 송미영;김용현;김종식;김대철;한선민;
제공처 한국표준과학연구원 
리포지터리 한국표준과학연구원 
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    2022 국내 공개 CC BY-NC-SA Korean

ICP 13.56 MHz 아르곤 플라즈마 분광 물성

송미영;김용현;김종식;김대철;한선민;
참조표준 설명 :
Ar002000100: Ar ICP 13.56MHz, 20mtorr, 100W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar002000150: Ar ICP 13.56MHz, 20mtorr, 150W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar002000200: Ar ICP 13.56MHz, 20mtorr, 200W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar002000250: Ar ICP 13.56MHz, 20mtorr, 250W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar002000300: Ar ICP 13.56MHz, 20mtorr, 300W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar003000100: Ar ICP 13.56MHz, 30mtorr, 100W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar003000150: Ar ICP 13.56MHz, 30mtorr, 150W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar003000200: Ar ICP 13.56MHz, 30mtorr, 200W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar003000250: Ar ICP 13.56MHz, 30mtorr, 250W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar003000300: Ar ICP 13.56MHz, 30mtorr, 300W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar004000100: Ar ICP 13.56MHz, 40mtorr, 100W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar004000150: Ar ICP 13.56MHz, 40mtorr, 150W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar004000200: Ar ICP 13.56MHz, 40mtorr, 200W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar004000250: Ar ICP 13.56MHz,40mtorr, 250W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar004000300: Ar ICP 13.56MHz, 40mtorr, 300W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar005000100: Ar ICP 13.56MHz, 50mtorr, 100W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar005000150: Ar ICP 13.56MHz, 50mtorr, 150W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar005000200: Ar ICP 13.56MHz, 50mtorr, 200W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar005000250: Ar ICP 13.56MHz, 50mtorr, 250W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar005000300: Ar ICP 13.56MHz, 50mtorr, 300W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar006000100: Ar ICP 13.56MHz, 60mtorr, 100W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar006000150: Ar ICP 13.56MHz, 60mtorr, 150W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar006000200: Ar ICP 13.56MHz, 60mtorr, 200W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar006000250: Ar ICP 13.56MHz, 60mtorr, 250W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar006000300: Ar ICP 13.56MHz, 60mtorr, 300W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar007000100: Ar ICP 13.56MHz, 70mtorr, 100W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar007000150: Ar ICP 13.56MHz, 70mtorr, 150W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar007000200: Ar ICP 13.56MHz, 70mtorr, 200W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar007000250: Ar ICP 13.56MHz, 70mtorr, 250W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar007000300: Ar ICP 13.56MHz, 70mtorr, 300W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar008000100: Ar ICP 13.56MHz, 80mtorr, 100W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar008000150: Ar ICP 13.56MHz, 80mtorr, 150W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar008000200: Ar ICP 13.56MHz, 80mtorr, 200W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar008000250: Ar ICP 13.56MHz, 80mtorr, 250W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar008000300: Ar ICP 13.56MHz, 80mtorr, 300W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar009000100: Ar ICP 13.56MHz, 90mtorr, 100W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar009000150: Ar ICP 13.56MHz, 90mtorr, 150W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar009000200: Ar ICP 13.56MHz, 90mtorr, 200W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar009000250: Ar ICP 13.56MHz, 90mtorr, 250W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
Ar009000300: Ar ICP 13.56MHz, 90mtorr, 300W 플라즈마 발생 조건에서 측정한 분광신호
참조표준 제/개정 사유 : 산업 공정 중 플라즈마 공정의 고도화를 위한 첨단 센서 개발에 기반이 되는 플라즈마 물성 참조표준 (플라즈마 분광 물성) 개발이 필요함
2021년도 참조표준에 대해 측정방법 (결합형 플라즈마(ICP) 발생기술)을 적용과 표준광원 소급성을 확보하는 등 데이터 신뢰도 평가를 향상함
  • #Argon Plasma
  • # OES
  • # Spectrum
  • # OES

데이터 생성 이력정보

  • 참조표준 제/개정 일자 : 2022-12-20

국가과학기술표준분류체계

  • 물리 ; 플라즈마물성 ; 플라즈마 분광 물성

특성 정보

특성정보는 제공처로부터 수집된 데이터이며, DataON에서 제공하는 이외의 정보를 담고 있습니다.

데이터셋 의미 관계 정보

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원문정보

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리포지터리
한국표준과학연구원
DOI
https://doi.org/10.20925/KSRD.67177492.v2
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