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제목(Main) Trimethyl aluminum [TMA] 소재의 원자층 박막증착율
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저자 윤주영;맹선정;김하영;임재욱;
제공처 한국표준과학연구원 
리포지터리 한국표준과학연구원 
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    2023 국내 공개 CC BY-NC-SA Korean

Trimethyl aluminum [TMA] 소재의 원자층 박막증착율

윤주영;맹선정;김하영;임재욱;
참조표준 설명 : 화학증착소재의 물성이 ALD 공정 기준에 적합하더라도 박막 증착 후에 박막의 물성(특성, 균일도 등)과 박막증착율(두께)이 적합하지 않을 수 있음. 박막 증착 공정 조건을 정하는데에는 ALD window에서 박막 증착율이 일정 수준을 유지하는 온도에 대한 데이터를 필요로 하고 있음.
해당 연구 결과들은 문헌에 보고되고 있지만 문헌마다 보고된 결과가 상이하여 적합한 증착 온도와 박막 증착율을 확인하기가 어려움.
화학증착소재의 원자층 박막 증착율 참조표준을 확보하여 참조표준을 제공함으로써 소재의 신규 개발 속도 향상, 증착장비의 기초 성능 평가시간 및 차세대 공정·장비 개발을 촉진할 수 있을 것으로 예상됨.
해당 참조표준은 TMA를 이용하여 Aluminum oxide 박막을 원자층 증착하였을때의 박막 증착율을 보고함.
참조표준 제/개정 사유 : Trimethyl aluminum [TMA] 소재의 원자층 박막증착율 참조표준 최초 제정

데이터 생성 이력정보

  • 참조표준 제/개정 일자 : 2023-12-12

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리포지터리
한국표준과학연구원
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https://doi.org/10.20925/KSRD.49621654.v1
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CC BY-NC-SA
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